Dabei gehe es um die Verletzung von Nikon patentierter Halbleiter-Produktionstechnologie und deren Nutzung in den Lithografiesystemen von ASML, teilte das japanische Unternehmen am Montag mit. Die Halbleiter-Tochter von Carl Zeiss ist Lieferant von ASML und produziert optische Komponenten, die in den ASML-Lithografiesystemen verbaut werden.
ASML und Carl Zeiss wiesen die Vorwürfe "kategorisch" zurück. Man werde die Nikon-Vorwürfe prüfen, sich aber in jedwedem Rechtsstreit energisch verteidigen, erklärte ASML. Carl Zeiss hält das Vorgehen Nikons für unbegründet und widersprach den Anschuldigen.
Nikon habe beim Distriktgericht in Den Haag insgesamt elf Patentverletzungsklagen gegen ASML eingereicht, erklärten die Japaner. Darüber hinaus seien beim Distriktgericht in Tokio entsprechende Klagen gegen ASML und beim Landgericht Mannheim gegen Carl Zeiss erhoben worden. Zuvor seien Gespräche zwischen Nikon, ASML und Carl Zeiss unter Leitung eines Mediators ohne Einigung geblieben.
Carl Zeiss habe Nikon die Verlängerung des bis Ende 2014 bestehenden Kreuzlizenzabkommens angeboten, erklärte hingegen Carl Zeiss. Dieses hatte die gegenseitige Nutzung von Patenten zugelassen. Zeiss sei enttäuscht, das Nikon "keine ernsthaften Verhandlungen" habe führen wollen, erklärte das Unternehmen weiter.
Nikon hatte bereits in der Vergangenheit gegen ASML und Carl Zeiss wegen Patentverletzungen geklagt. Zurückliegende Verfahren in den USA endeten damals in einem Vergleich zugunsten von Nikon, wie die Japaner mitteilten./nas/jha/stb
(AWP)
