Diese Bestellungen der modernsten Maschinengeneration ⁠an die Halbleiter-Hersteller Samsung und TSMC sind ein wichtiger Meilenstein für ASML, dessen sogenannte High-NA-EUV-Lithographiesysteme bislang lediglich bei Intel im Einsatz sind. ‌Die neuen Bestellungen bedeuten, dass der niederländischen Chipindustrie-Ausrüster ASML bis in die 2030er Jahre hinein ‌eine unverzichtbare Rolle bei der Entwicklung künftiger Computerchips spielen ​wird. «Daran habe ich nie gezweifelt», sagt Analyst Jos Versteeg von der Privatbank InsignerGilissen. «Es gibt keine Alternativen.»

Mit High-NA-EUV-Maschinen, jede so gross wie ein Doppeldeckerbus und etwa 400 Millionen Dollar teuer, können feinere Schaltkreise per Laser in Siliziumscheiben gebrannt werden als mit bisherigen Geräten. Dadurch werden Computerchips kleiner und rechnen schneller. ASML beherrscht Schätzungen zufolge 94 Prozent des ‌Weltmarktes für Lithographie-Anlagen und ist der weltweit einzige Anbieter, der auf die EUV-Technologie setzt. Die Abkürzung steht für «extrem ultraviolettes Licht». Die Produktionskapazitäten sind den Angaben zufolge bis ins Jahr 2027 hinein nahezu ausgebucht. Konkurrenten wie Canon und Nikon aus Japan ​sowie SMEE aus China setzen dagegen auf «tief ultraviolettes Licht» (DUV), den Branchenstandard der 2010er Jahre. ​Sie scheuen den Einstieg in die EUV-Technologie, weil die Entwicklung viele ​Jahre dauern und Milliarden verschlingen würde.

Künftiger Industriestandard

Der weltgrösste Chip-Auftragsfertiger TSMC will die neuen ASML-Maschinen ab 2028 in der Massenfertigung einsetzen, obwohl er zuvor die ‌Wirtschaftlichkeit angesichts der hohen Investitionen infrage gestellt hatte. Der südkoreanische Speicherchip-Hersteller SK Hynix hat sich einen ähnlichen Zeitrahmen gesetzt. Sein Erzrivale Samsung wird High-NA-Anlagen voraussichtlich ab 2030 nutzen. Der US-Konzern Micron hat die neuen ASML-Maschinen zwar bestellt, nennt bislang jedoch ​keinen Termin ​für ihren Einsatz. Der Erstkunde Intel hat nach eigenen ⁠Angaben bereits mehr als eine Million Silizium-Wafer mithilfe der neuen Technologie ​belichtet. Sie erweise sich als ⁠zuverlässig.

Die Speicherchip-Branche investiere wegen der weltweiten Lieferengpässe derzeit offensiver als andere Halbleiter-Hersteller, erläutert ASML-Chef Christophe Fouquet in einem Interview mit ‌der Nachrichtenagentur Reuters. Sie drücke bei der Umstellung auf High-NA-Technologie aufs Tempo. Dennoch werde sich die Angebotslage bei Chips wohl frühestens 2028 entspannen. Der Einsatz der neuen Maschinen bedarf mehrjähriger Vorbereitung. Bevor ‌sie den regulären Betrieb aufnehmen, müssen die Zuliefer-Komponenten, Chemikalien und Produktionsprozesse an die Technologie ​angepasst werden. Ausserdem wird das neue ASML-Werk voraussichtlich erst 2029 offiziell eröffnet. Daher versuchen einige Chipkonzerne, mit anderen Methoden wie dem Stapeln von Schaltkreisen die Leistungsfähigkeit von Prozessoren zu steigern.

(Reuters)